工艺流程的确定最好经过现场试验，借鉴成功运行经验。本部分研究主要介绍了混凝沉淀、高效过滤、生物活性炭、石灰、臭氧、微滤、超滤、反渗透等多种水回用深度处理单元技术，并对其进行技术经济对比及稳定性分析。通过大量试验，得出如下结论：
1）膜过滤技术产水浊度低；封闭运行，对周围环境无干扰；只加少量化学药剂，基本上无二次污染；运行稳定，操作简便，易于维护，占地小。因此，与传统的物化处理工艺相比，具有明显的优越性。微滤、超滤膜过滤技术对有机污染物、氮、磷的去除受进水水质影响比较大，对非溶解态污染物具有极高去除率。
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